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KLA Zeta™-388光學輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統結合，可實現全自動測量。該系統采用ZDot™ 技術，可同時收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-388支持研發和生產環境，具有多模光學器件、易于使用的軟件、低擁有成本和SECS/GEM通信。

KLA Zeta™-300光學輪廓儀可提供3D 量測和成像功能，與集成式防震臺和靈活的配置相結合，可以處理更大的樣品。該系統采用ZDot™ 技術，可同時收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-300支持研發和生產環境，具有多模光學組件、易于使用的軟件和低擁有成本。

全新的KLA Zeta™-Solar光學輪廓儀專為滿足優良金屬化工藝中對于細柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設計。更為優良的3D 成像技術，以及最大可容納230mm x 230mm 規格太陽能電池片的 XY 載臺，使得 Zeta-Solar 成為太陽能工藝研發和制程控制的理想專用量測機臺。

KLA Zeta™-20光學輪廓儀是一個高度集成的光學輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統采用ZDot™ 技術，可同時收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-20 3D顯微鏡支持研發和生產環境，具有多模光學器件、易于使用的軟件和性價比高等優勢。Zeta-20HR 提供專業的太陽能電池量測解決方案。

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀和 Profilm3D-200 光學輪廓儀經濟實惠，是一套非接觸式基于白光干涉法的3D表面形貌測量系統。新一代的白光干涉儀擁有新的成像模式，性能和價值得到了大幅提升。Profilm3D 系列通過簡單、靈活的程式設置測量納米級至毫米級表面，可進行單次掃描或在多個點位自動測量，來支持研發和生產環境。