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KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測(cè)試儀，方塊電阻測(cè)試儀可對(duì)金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導(dǎo)和薄膜電導(dǎo)率進(jìn)行測(cè)繪。R54是方塊電阻測(cè)量的最新一代升級(jí)款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環(huán)境，能夠支持半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體應(yīng)用。