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KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量，掃描范圍可達 200 毫米且無需拼接。HRP®-260配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結果。

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有優良的圖形識別算法、增強的光學系統和優良的樣品臺，可實現穩定的性能和系統之間程式傳輸的無縫銜接 - 這是實現全天候生產的關鍵。

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發和生產環節中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強影像控制的高級光學系統。

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產和研發環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200毫米，無需拼接。

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產和研發環節提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達150毫米，無需拼接。