勻膠旋涂機設(shè)備，包括弧形板，儲膠區(qū)，導(dǎo)流板，支撐柱和固定板，弧形板的弧度與使用的上膠輥外壁相同，弧形板的一側(cè)設(shè)置有儲膠區(qū)，與其對應(yīng)的另一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)流區(qū)，弧形板頂部中心設(shè)置有兩個相同的支撐柱，任意支撐柱頂部設(shè)置有螺母，任意支撐柱和螺母之間設(shè)置有固定板。任意支撐柱外壁有螺旋紋路，任意支撐柱和螺母螺旋連接。勻膠旋涂儀設(shè)備有益之處在于：能夠?qū)⒛z液部勻，防止多余的膠液溢出，方便清潔，延長使用壽命，提高涂膠機工作效率。

　　勻膠旋涂機按自動化程度可分為：

　　a）自動勻膠設(shè)備；b）半自動勻膠設(shè)備。

　　2按有無烘干方式分為：

　　a）帶烘干裝置的勻膠設(shè)備；b）不帶烘干裝置的勻膠設(shè)備。

　　3按加工基片幾何形狀可分為：

　　a）圓片勻膠設(shè)備；b）方片勻膠設(shè)備。

　　勻膠旋涂機使用注意事項：

　　1.使用前氣路檢查；使用前主要檢查設(shè)備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣；

　　2.遵守啟動順序；實驗時，依次打開設(shè)備電源開關(guān)，氮氣/干燥氣體瓶閥門，真空開關(guān)，結(jié)束時，先關(guān)真空，再關(guān)氮氣/干燥氣體瓶閥門；

　　3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過大；建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調(diào)，直至設(shè)備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調(diào)整；

　　4.嚴(yán)防超載；嚴(yán)禁放置超出設(shè)備限定范圍的過大過重材料，否則將會損壞設(shè)備的旋控精度；

　　6.綠色環(huán)保實驗；對于廢液廢氣的排放和處置，請遵守試劑使用的相關(guān)環(huán)保說明；

　　7.保持設(shè)備清潔；實驗結(jié)束后，請拭去設(shè)備內(nèi)腔殘留物，并清空廢液接收罐，使用原片遮住Chuck，將設(shè)備用塑料封套蓋好以避污染；

　　8.真空泵不宜長時間無負載運行；實驗期間設(shè)備閑置時，為了保護好泵的工作性能，請關(guān)閉真室泵，建議泵的連續(xù)作業(yè)不超過1小時。