勻膠機(jī)被設(shè)計為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。勻膠機(jī)設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

　　勻膠旋涂儀產(chǎn)品特點:

　　*采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。

　　*5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，多100個階段。

　　*內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，較大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

　　*多重安全保護(hù)

　　電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

　　蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；

　　雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。

　　*一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

　　*不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

　　*適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

　　勻膠旋涂儀適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用，其總體設(shè)計由汶顥股份獨立開發(fā)完成，是具有自主 知識產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)產(chǎn)品。 勻膠機(jī)快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。