九九精品在线观看-九九九九-九九九免费观看视频-九九九亚洲精品-九九久久99-九九久久国产

歡迎您來到韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司網(wǎng)站!
新聞資訊 / news 您的位置:網(wǎng)站首頁 > 新聞資訊 > 微波等離子去膠機遇到以下幾種情形我們需要注意
產(chǎn)品中心

product center

微波等離子去膠機遇到以下幾種情形我們需要注意

發(fā)布時間: 2022-03-28  點擊次數(shù): 832次
  去膠工藝是微加工工藝過程中一個非常重要的工藝環(huán)節(jié)。在光刻工藝之后,我們往往需要面臨顯影后的底膠去除或者干法蝕刻工藝后變性的光刻膠的去除工作,這些環(huán)節(jié)中光刻膠去除的是否干凈*以及對樣片是否有損傷等將直接影響到后續(xù)工藝的進行以及器件的性能。
  微波等離子去膠機是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設(shè)備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。Virgo系列設(shè)計緊湊占地面積小,設(shè)備穩(wěn)定可靠、易于維護、產(chǎn)能高。利用氧氣在微波發(fā)生器的作用下產(chǎn)生氧等離子體,具有活性的氧等離子體與有機聚合物發(fā)生氧化反應,是的有機聚合物被氧化成水汽和二氧化碳等排除腔室,從而達到去除光刻膠的目的,這個過程我們有時候也稱之為灰化或者掃膠。氧等離子去膠相比于濕法去膠工藝更為簡單、適應性更好,去膠過程純干法工藝,無液體或者有機溶劑參與。
  微波等離子去膠機遇到以下幾種情形我們需要注意:
  ① 部分穩(wěn)定性高的光刻膠如SU-8、PI(聚酰亞胺),往往膠厚也比較大,純氧等離子體去膠速率也比較有限,為了保證快速去膠,往往還會在工藝氣體中增加氟基氣體增加去膠速率,因此不只是氧氣是反應氣體,有時候我們也需要其他氣體參與;
  ② 涂膠后形成類非晶態(tài)二氧化硅的HSQ光刻膠。由于其構(gòu)成并不是單純的碳氫氧,所以是無法使用氧等離子去膠機來實現(xiàn)去膠;
  ③ 當我們的樣品中有其他需要保留的結(jié)構(gòu)層本身就是有機聚合物構(gòu)成的,在等離子去膠的過程中,這些需要保留的層也可能會在氧等離子下發(fā)生損傷;
  ④ 樣品是由容易氧化的材料或者有易氧化的結(jié)構(gòu)層,氧等離子去膠過程,這些材料也會被氧化,如金屬AG、C、CR、Fe以及Al,非金屬的石墨烯等二維材料。
18721247059

聯(lián)系我們

contact us

咨詢電話

400-9999-18518721247059

掃一掃,關(guān)注我們

返回頂部

聯(lián)


主站蜘蛛池模板: 国产日韩欧美视频免费看 | 欧洲不卡二卡三卡四卡免费 | 国产6699视频在线观看 | 国内精品在线一区二区 | 男女拍拍拍免费视频网站 | 国产乱人视频免费观看 | 岛国一区二区三区视频 | 99精品视频在线观看婷婷 | 国产日本韩国 | 91风韵犹存沙发69国产 | 国语自产精品视频在线区 | 菠萝蜜视频在线观看高清 | 国产xx00在线观看 | www在线免费观看视频 | 黑料不打烊最新2025地址 | 国产一区日韩二区欧美三区 | 销魂美女一区二区 | 天堂在线亚洲精品专区 | 日韩欧美国产精品第一页不卡 | 国精产品999国精产品官网 | 国产福利深夜视频在线观看 | 日本一区二区三区在线播 | 一区二区三区国产好的精华液 | 国产精品美女一区二区视频 | 国产初高中生视频在线观看 | 国产99视频精品免费视频76 | 日韩欧美专区 | 综合精品欧美乱伦 | 欧美一区二区三区四区婷婷 | 成人亚洲一区二区三区四区 | 成人精品综合 | 国产免费aⅴ大片在线观看 初次深交流请多指教第二话 | 精品国产一区二区三区 | 亚洲h成年动漫在线观看不卡 | 日韩精品色色色色 | 99精品视频免费在线观看 | 免费观看日本一区二区 | 亚洲aⅴ一区二区三区四区 日本三级私人电影网 | 在线观看国 | 国产欧美日韩视频 | 日本精品不卡在线观看 |