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KLA iMicro納米壓痕儀

簡要描述:KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬質涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度測試、劃痕和納米級萬能試驗等多種納米力學測試。作動器易于更換,能夠提供大范圍的動態載荷和位移,對于從軟質聚合物到硬質金屬/陶瓷等材料,均可以進行準確而可重復的測試。模塊化的功能選項可以適配各種應用:材料力學特性圖譜、頻率相關特性測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。

產品型號:

所屬分類:納米壓痕儀

更新時間:2025-05-09

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

KLA iMicro納米壓痕儀標配InForce 1000作動器,用于進行納米壓痕和納米力學試驗,并可選配InForce 50作動器用于測試較軟的材料。InView 軟件包靈活、現代,讓用戶輕松進行納米尺度測試。KLA iMicro納米壓痕儀是一款緊湊型測試平臺,其箱體中內置高速InQuest控制器和隔振框架。各種不同的材料和器件均可以進行測試,包括金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等。

 

KLA iMicro納米壓痕儀


產品特色

  • InForce 1000作動器采用電容式位移傳感和電磁力驅動,且壓頭易于更換

  • InForce 50作動器選件,提供最大50mN的法向力,可用于測量較軟的材料;Gemini 2D作動器選件,可實現兩個方向的動態測量的壓頭校準系統,集成在軟件中,可實現快速、準確的壓頭校準

  • InQuest高速控制器電路,數據采集速率可達100kHz,時間常數最快為20µs

  • XY運動系統以及易于安裝的磁性樣品臺

  • 高剛度框架,且集成隔振功能

  • 集成顯微鏡,數字變焦,可實現精確的壓痕定位

  • 符合ISO 14577等標準的測試方法

  • InView軟件包,包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在線培訓和InView移動應用程序

KLA iMicro納米壓痕儀

產品應用

  • 硬度和模量測量(基于Oliver-Pharr模型)

  • 快速材料力學性能成像

  • ISO 14577 硬度測試

  • 聚合物損耗因子、儲存模量和損耗模量

  • 定量的劃痕和磨損測試

  • 高溫納米壓痕測試

適用行業

  • 大學、科研實驗室和研究所

  • 半導體與封裝產業

  • PVD/CVD 硬質涂層(DLC、TiN)

  • MEMS:微機電系統/納米力學試驗

  • 陶瓷與玻璃

  • 金屬與合金

  • 制藥

  • 涂層 涂料

  • 復合材料

  • 電池與儲能

  • 汽車與航空航天

 

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