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KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統

簡要描述:KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統第二代集成式光致發光和表面檢測系統,設計用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進行高級表征。采用統計制程控制(SPC)的方法來進行自動晶圓檢測,可顯著降低由外延缺陷導致的良率損失,最大限度地減少金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應器的工藝偏差,并增加MOCVD反應器的正常運行時間。

產品型號:

所屬分類:表面缺陷檢測系統

更新時間:2025-05-09

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統采用專有的光學技術,可同時測量兩個入射角的散射強度。 它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發光,從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統為氮化鎵晶圓提供表面和光致發光的缺陷檢測,對氮化鎵位錯、凹坑和孔洞進行檢測和分類,用于氮化鎵反應器的缺陷控制。其功率應用包括基于碳化硅的透明晶圓檢查和晶體缺陷分類,如基面位錯、微管、堆疊層錯缺陷、條形堆疊層錯缺陷、晶界和位錯,以及對三角形、胡蘿卜形、滴落物和劃痕等形貌缺陷進行檢測。

 

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統

 

 

 

功能

  • 檢測寬帶隙材料上的缺陷,包括直徑達200毫米的碳化硅和氮化鎵(襯底和外延)

  • 支持各種晶圓厚度

  • 對微粒、劃痕、裂紋、沾污、凹坑、凸起、KOH蝕刻、胡蘿卜形與表面三角形缺陷、基平面位錯、堆疊層錯、晶界、位錯和其他宏觀外延干擾進行檢測

    [MTpage]

     

  • KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統

 

應用案例

  • 襯底質量控制

  • 襯底供應商對比

  • 入廠晶圓質量控制(IQC)

  • 出廠晶圓質量控制(OQC)

  • CMP(化學機械拋光工藝)/拋光工藝控制

  • 晶圓清洗工藝控制

  • 外延工藝控制

  • 襯底與外延缺陷關聯

  • 外延反應器供應商的對比

  • 工藝機臺監控

KLA Candela® 8520表面缺陷檢測系統

行業[MTpage]ong>

  • 工藝設備監控

  • 其他化合物半導體器件

 

選項

  • SECS-GEM

  • 信號燈塔

  • 金剛石劃線

  • 校準標準

  • 離線軟件

  • 光學字符識別(OCR)

  • 光致發光

 

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