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KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀系列，涵蓋近紅外光波長范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測量從15納米至3毫米的薄膜厚度，適用于半導(dǎo)體與介電層等材料。該設(shè)備具備單點測量功能，配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源，并支持?jǐn)U展功能如自動化測繪平臺和不同波長選項。此外，它還提供了超過130種材料的數(shù)據(jù)庫支持，以及在線技術(shù)支持服務(wù)。

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統(tǒng)專為微小視野及樣品設(shè)計，支持快速、簡易的厚度測量，適用于聚對二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動校正功能，可自動調(diào)節(jié)靈敏度并簡化設(shè)置過程。系統(tǒng)可通過USB供電，并兼容多種Windows操作系統(tǒng)。

KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀通過同時測量反射和透射光譜，實現(xiàn)真空鍍膜的快速、精確分析。該設(shè)備價格合理，具備分析、FWHM確定及顏色分析功能，并可通過選配模塊擴展其厚度和折射率測量能力。配備FILMeasure 8軟件和多種參考材料，支持多種薄膜類型，覆蓋從紫外到近紅外的寬波長范圍，提供高效的測量結(jié)果輸出及全面的技術(shù)支持服務(wù)。

KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度測量儀是一款專為測量單層和多層硬涂層設(shè)計的儀器，基于F20平臺，采用光譜反射分析技術(shù)，提供快速準(zhǔn)確的測量結(jié)果。該設(shè)備已在世界各地廣泛使用，尤其受到汽車硬涂層公司的青睞。附帶全套軟件、探頭及參考材料等配件，并提供持續(xù)的技術(shù)支持與升級服務(wù)。

KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統(tǒng);經(jīng)濟實惠的膜厚儀系列在幾秒鐘內(nèi)就能完成高精度的薄膜厚度測量。這些易于使用的儀器與智能軟件和一系列附件和配置相結(jié)合，可提供最大的通用性，可測量厚度為 1 納米至 3 毫米的薄膜。