EM-KLEEN 遠程等離子體源和控制器

全自動操作，最快的清洗速度，寬壓力范圍

EM-KLEEN等離子體清洗機可用于電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳氫化合物和氟碳化合物污染物，提高極限真空水平，減少抽氣時間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面上的有機污染物。該系統(tǒng)包括一個電阻式液晶觸摸屏控制器與嵌入式微計算機和遠程等離子體源。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠程等離子體源。標準真空接口端口為 NW/KF 40 法蘭。可提供不同 SEM 端口的適配器。也可選擇 CF2.75″法蘭。

EM-KLEEN 是一種全自動等離子源。該設(shè)計直觀且通用。EM-KLEEN 遠程等離子體源雖然體積小，但集成了皮拉尼壓力傳感器、電子可變氣體流量控制器、等離子體強度傳感器、溫度傳感器和冷卻風(fēng)扇。流量控制器自動調(diào)節(jié)氣體流速，以達到等離子體源內(nèi)部的配方指定壓力。該控制器可以存儲多達 60 個配方，具有不同的射頻功率，工作壓力，氣體流速和清潔持續(xù)時間。不需要手動調(diào)整不同的配方。微型壓力傳感器持續(xù)監(jiān)測樣品室壓力。它可在安全操作模式下用作安全聯(lián)鎖觸發(fā)器，并為 SmartSchedule™功能計數(shù)樣品加載事件。冷卻風(fēng)扇可實現(xiàn)長時間高功率運行。等離子體強度傳感器實時測量等離子體強度，用戶不再對等離子體狀態(tài)視而不見。

通過壓力傳感器、自動氣體流量控制器、等離子傳感器、溫度傳感器和帶嵌入式微處理器的 LCD 觸摸屏控制器的協(xié)同工作，EM-KLEEN 原位等離子清洗機可以自動維護您的系統(tǒng)，并防止?jié)撛诘挠脩翦e誤。PIE Scientific 開發(fā)的 SmartClean™技術(shù)結(jié)合了核研究和半導(dǎo)體行業(yè)中開發(fā)的等離子體源設(shè)計技術(shù)。EM-KLEEN 等離子清洗機遠比市場上類似的遠程等離子清洗機先進。此外，許多功能僅在我們的產(chǎn)品上提供。

EM-KLEEN等離子體清洗機功能列表

• 石英源體電感耦合等離子體源設(shè)計。在市場上同類產(chǎn)品中清洗速度最快。

• 低壓高效等離子體放電技術(shù)起源于勞倫斯伯克利國家實驗室開展的研究工作

• 在極低的壓力下瞬間等離子點火。用戶無需擔(dān)心等離子體是否會點燃。無需手動調(diào)節(jié)旋鈕即可點燃 EM-KLEEN 上的等離子體。

• 電子式氣體流量控制器，可自動調(diào)節(jié)氣體流量，達到配方規(guī)定的操作壓力。無需調(diào)節(jié)旋鈕來改變氣體流速。

• 用于等離子體強度監(jiān)測的等離子體強度傳感器。當(dāng)用戶調(diào)整射頻功率和工作壓力時，提供實時反饋。它還幫助控制器了解等離子體狀態(tài)，從而提供智能和全自動調(diào)節(jié)。

• 0-75 13.56MHz 時的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調(diào)節(jié)。

• 帶有觸摸屏用戶界面的微型計算機。

• 通過 RS232/RS485 協(xié)議的直觀遠程 PC 控制用戶界面。

• 智能的“安全操作模式"和“專家操作模式"，帶有用戶自定義的警告信息。一個非常有用的功能，如果電子或離子顯微鏡是由許多沒有經(jīng)驗的用戶共享。

• 微型計算機上可定制的 SmartScheule 功能可以自動照顧您的系統(tǒng)。

• 支持 60 個可定制的配方，具有不同的射頻功率瓦數(shù)，等離子管壓力，氣體流速和清潔持續(xù)時間。

• 主動式風(fēng)扇冷卻，實現(xiàn)高功率高速清潔。

• 超溫聯(lián)鎖保護。

• 易于攜帶的控制器。該系統(tǒng)可以很容易地在不同的系統(tǒng)之間移動。